应用范围：

纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出。可应用与半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads);存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层);光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层);金属蒸镀层；防磨损涂层(TiN,TiC,DLC,切割工具);药理学(药片、植入材料、生物组

织);工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)等行业。

基本功能：

纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、

PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

划痕法通过使用不同的传感器(声发射、划痕位移、摩擦力)和视频显微镜观察获得临界载荷数据来量化不同的膜-基材组合的结合性能。

制样须知：

样品要求圆柱体或方块体，高度3-8mm,宽度5-30mm。上下面平行，测试面抛光；薄膜样品需要制样测，不规则样品或者过小的样品需要硬树脂镶嵌后抛光处理。连续

刚度模式或者硬度大于20Gpa的样品特殊联系。